研磨工具
KEMET WAX自動貼り付け装置 (卓上型/据置き型)
WAX自動貼り付け機は卓上型と据置き型があります。一連の動作をレシピでプログラム管理出来ます。
操作方法はプレートを温め、WAXを塗り、ワークをセットして蓋をします。チャンバー内でシリコンゴムがエアーバック状に設定温度で膨らみ同時に設定時間で真空が引かれる為、WAXが脱泡され全体が均一に
加圧されます。加圧貼り付け後の冷却も時間設定可能です。貼り付け精度につきましてはφ2”ウエハーでWAXの厚み1μm以内の実績がございます。WAX固定での研磨は裏面が基準になる為、WAXムラによる厚みの差は研磨加工時に大きく影響が出てしまいます。この自動貼り付け機はそのような課題もクリアする事が出来ます。据置き装置ではφ300mmの治具に対応させた実績があり、更に大きいものも検討可能です。
会社名 |
ケメット・ジャパン 株式会社 (けめっとじゃぱん) |
エミダス会員番号 | 77884 |
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国 | 日本 | 住所 |
日本 東京都 品川区 |
電話番号 | ログインをすると表示されます | FAX番号 | ログインをすると表示されます |
資本金 | 2,600 万円 | 年間売上高 | |
社員数 | 15人 | 担当者 | 田中 匡志 |
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