真空装置・関連機器・真空チャンバー・設計製作製造
コスモ・サイエンスの真空容器製作の特色
《フレキシブルな受注範囲》
①設計→製作→表面処理→検査→納品
②製作→表面処理→検査→納品
③チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、
回転導入機構等を含むユニットとしての対応が可能
《幅広い製作範囲》
①材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他)
②大きさ:100Φ~1500Φ、100□~2000□
③用途:半導体・液晶製造設備、加熱炉、中性子加速器
凍結乾燥機、リークテスト装置、産業用製膜装置他