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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SEMでのLOW-K膜チッピングやデラミネーショ…）
SEMでのLOW-K膜チッピングやデラミネーション評価について
2023/10/16 17:42
このQ&Aのポイント
- SEMを使用したLOW-K膜チッピングやデラミネーション評価についての質問です。
- SEMを所有していないため、技術センターの所有物を借用して観察を行います。
- 評価倍率や解析分野に関するアドバイスをいただきたいです。
※ 以下は、質問の原文です
SEMでのLOW-K膜チッピングやデラミネーショ…
2009/11/24 09:19
SEMでのLOW-K膜チッピングやデラミネーション評価について
この度SEMでLOW-K仕様WaferのDicing後のチッピングやデラミネーション評価をこととなりました。
SEMは所有していない為、技術センター所有物を借用し観察を行うのですが評価倍率としてはどの程度が妥当なのでしょうか？
レーザー加工品の比較サンプルを頂いておりますので探りながらになるとは思いますが解析分野に分野外となり苦慮しております。
アドバイスいただけると幸いです。
何卒宜しく御願い致します。
質問者が選んだベストアンサー
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2009/11/25 09:49
回答No.1
半導体は専門外ではありますが・・・・
評価の倍率なら参考文献をあされば出てきそう。
（SEM×2000 程度）
この分野の進歩は凄い速さと思う。
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お礼
2009/11/25 17:54
mytec様
回答有り難う御座います。
リンク参考にさせて頂きます。
有り難う御座いました。