本文へ移動
サポートシェアリングソリューション
OKWAVE Plus

このQ&Aは役に立ちましたか?

締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:金属薄膜断面のTEM分析について)

金属薄膜断面のTEM分析について

2023/10/18 06:18

このQ&Aのポイント
  • 金属薄膜断面のTEM分析について教えてください。薄膜の最表面には有機物(脂分)が付着していると考えていますが、有機物の層もTEMで観察することは可能でしょうか?
  • 金属薄膜断面のTEM分析では、薄膜の最表面に付着している有機物(脂分)も観察することが可能ですか?有機物の付着量は金属薄膜に対して1%程度です。
  • 金属薄膜断面のTEM分析において、薄膜の最表面に付着している有機物(脂分)もTEMで観察できますか?有機物の付着量は金属薄膜に対して1%程度です。
※ 以下は、質問の原文です

金属薄膜断面のTEM分析について

2010/05/13 10:13

金属薄膜断面のTEM分析について教えてください。
薄膜の最表面には有機物(脂分)が付着していると考えてます。
有機物は200度くらいの乾燥でもとばないものです。
こういった場合、金属はTEMで観察できるのはわかるのですが
金属を覆う有機物の層も観察することは可能でしょうか?
(有機物の付着量は金属薄膜に対して1%程度です)

回答 (1件中 1~1件目)

2010/06/10 22:55
回答No.1

~結論~

 金属を観察して、有機物も観察することは非常に難しいです。


ご質問からどの方向のTEM像が必要かわかりかねますので、2パターンを考えます。

~パターン1~
層を真上から観察する場合

|    |   |
| 金属 |有機物|
|    |   |
|    |   |
|    |   |

TEMは透過電子が十分検出できるレベルまで試料を薄くする必要があります。
(ナノオーダー)

膜厚が0.1mmだと仮定すると、0.1mm四方のサンプルから薄膜を作ることができません。


~パターン2~
有機物と金属のサンドイッチ構造を観察する場合

   ↓観察方向
_________________
  有機物
_________________

  金属
_________________

有機物を残しながら、金属を極限まで薄することが困難です。

また、できたとしても金属と有機物を同時に観察できません。

透過率が金属の方が悪いと思われるため、金属のみ見ていることになります。



また、ビームが高エネルギーなので、有機物が炭化しないか不安ですね。

樹脂埋めして、レーザー顕微鏡ないしSEMで見たほうがいいかと思います。

このQ&Aは役に立ちましたか?

この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。

質問する

お礼をおくりました

さらに、この回答をベストアンサーに選びますか?

ベストアンサーを選ぶと質問が締切られます。
なおベストアンサーを選びなおすことはできません。