石英ウエハの洗浄方法と傷の原因について

　6インチの石英ウエハをPVAスポンジブラシで洗浄しています。
（研磨後の洗浄として）
PVAスポンジブラシは直径38mmのイボ付で300r/minの速度で回転しています。
表面・裏面同時での洗浄をしていますが、中心から10mmのところで円周状の
傷がついてしまいます。ブラシは片持ちなので多少偏芯していますが、スポ
ンジを押し当てたくらいで傷が入るとは考えにくく原因を追及できなくて
困っております。
（押し付け量は、3mm,3mmウエハに対してストレスをかけています。）
押し付け量を減らすと傷も薄くなっていきますが、洗浄能力が低下してし
まいます。
何かお気づきの点ありましたらアドバイス願います。

回答いただき、感謝しております。
イボのないタイプで試してみることにしました。
近日になりますが・・・

イボ無しタイプでも傷が出てしまいました。
ブラシ軸の偏芯に疑いが出ました。計測していませんが、
見た目偏芯しているようなので、軸を交換して傷が出ないのを
確認できました。
いろいろご教授ありがとうございました。