超硬加工での摺動面に与える影響と対策

IQ300は、
・微細精密加工機
・分解能5nmスケール
・超精密転がり案内
・リニアモータ駆動
ということで、(1)さんもご回答の通り、摺動部のカバーの防塵性
に十分配慮していると推測されます。

ＸＺ軸はテーブル上部に配置されているのであまり心配ないと
思われるので、問題はＹ軸ですね。
早送り速度も16m/minとそれほど速くないので、転がり案内部に
装着されていると思われるスクレーパで、軸受部への侵入も
それなりに防ぐことができるでしょう。

それでも"絶対"とは言い切れないので、摺動部カバーを含めた
テーブル周りの清掃を日々励行することが肝要と思われます。

超硬の加工ですので、クーラントを使用していると思われますが、
干渉の問題が無ければ、テーブルの前後に一寸した衝立を取り付け
て、Ｙ軸摺動部カバー上にできる限りクーラントが掛からないよう
にすることも一案です。

＞砥粒が入り込まない為にIQ300は特殊な機構？

メーカに問い合わせたとき、どういった対策が施されているか具体的に聞くべきだったと思います。それで実機を見て確認。

摺動面もさりながら、リニアは磁力で吸い付く鉄粉の侵入には気をつかい、防塵対策が厳重になっているからと思います。


＞研削盤では超硬を研削、、、ガイド・駆動部分に入り込まない為に、どのような対策？

古い機械は上から見えないカバーだけで、横からは摺動面が覗けるものも。
超硬は殆ど湿式で研削し乾式は例外的。なので水を含み重くなったミストが摺動面に降りかかることは殆ど起きない。
しかし新しい機械は横や下からも覗けなくなっており、それが対策。

乾式で切削し粉が舞うワークは?グラファイト切削仕様?など。
摺動面を隙間が小さいカバーで覆い、更に隙間からも侵入しないよう内部に弱い加圧エアーを吸込むやりかた。