拡散ポンプの動作不良について

真空にさせたい容器内で水漏れが発生が原因かと。
真空にさせたい容器内では、常温でも水が沸騰します。

拡散ポンプ・ロータリーポンプの油を交換は、水漏れが廻っている恐れがあるので妥当かな。
シール部にも影響がでては拙いしね。

拡散ポンプ内及び経路中の水分を完全に除去するには、やはり水分を真空下で沸騰させ、
外に出しを繰り返すのが早道。
水を沸騰させるのと、自然気化させるのとでは、どちらが速く水を空にできるかで解る筈。
ヒーターは、空気の湿気（湿度）対策と、気化熱の補充なので、充分にはたらいています。

拡散ポンプを使ってたのは20年も前なのでうろ覚えですが。

>１．真空にさせたい容器内で水漏れが発生

良くあることですよ。

＞到達真空度に達さなかったものの，運転を繰り返すうちにそれも改善されております

から考えると
拡散ポンプ内の水や洗浄剤除去が不十分だったのではないかと。

＞３．拡散ポンプ内及び経路中の水分を除去

拡散ポンプの本体やフィンは説明書に従ってベーキングしましたか?
またはメーカーにメンテナンスに出しましたか?
拡散ポンプ内に腐食や水垢っぽい曇りはありませんでしたか？

ＯＫならしばらく空運転をさせるのが良いとは思いますが

＞４．拡散ポンプ・ロータリーポンプの油を交換

では真空度とヒーター温度に適合したオイルを確実に入れましたか？
真空度グレードの高いオイルだとヒーター温が低すぎて引けませんし
逆だとヒーター温でオイルが分解してガスが出たりする可能性が。