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【概要】
独立行政法人 産業総合研究所 先進製造プロセス研究部門が開発した【エアロゾルデポジション法(AD法)】を元に当社と同研究部門との共同研究よって開発が進められている技術です。
以下に本技術の基礎となっているAD法についての概要と原理を紹介します。
成膜原料であるセラミックや金属の粒子を粒径が1μm前後に整えた後エアロゾル発生器に封入し、ヘリウムやアルゴン、窒素などの搬送ガスを供給すると、エアロゾル発生器内で原料粒子は攪拌・混合されエアロゾル化します。エアロゾル化した原料粉は圧力差で成膜チャンバーに搬送され、ノズルから噴射されます。エアロゾル粒子が基板に衝突する際に粒子の持つ運動エネルギーが成膜エネルギーに変えられ、緻密で強固な成膜を実現します。
AD法には「加熱過程を経ない常温での処理」という特徴があります。
高温の熱処理を伴わないためナノ組織の結晶構造・複合構造をもつセラミック膜を形成でき、さらに熱に弱い基板に対しても処理可能という利点もあります。
原理的にも応用面からも従来のコーティング技術とは一線を画しており、従来の課題を克服できる大きな可能性を秘めています。
【問合せ先】
〒984-0001
宮城県仙台市若林区鶴代町3-35-1
本田精機 株式会社
TEL:022-384-3077
FAX:022-284-9078
Email:info@hondaseiki.co.jp
会社名 |
本田精機 株式会社 (ほんだせいき) |
エミダス会員番号 | 72345 |
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国 | 日本 | 住所 |
日本 宮城県 仙台市若林区 |
電話番号 | ログインをすると表示されます | FAX番号 | ログインをすると表示されます |
資本金 | 1,500 万円 | 年間売上高 | 100,000 万円 |
社員数 | 30人 | 担当者 | 本田 和貴 |
産業分類 | 治工具 / 工作機械 / 産業用機械 | ||
主要取引先 |
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