最終更新日: 2021-08-20
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電熱技術を中心に真空・バイオ・化学・光学分野や半導体液晶・太陽電池・医療・食品・環境等すべての産業向けの製品開発と電熱機器(工業用ヒーター、半導体レーザー加熱装置、温度センサー、電熱部材等)の製造・販売。「電熱に関する問題」をプロが解決。秋葉原本店に商品陳列。九州、岡山、大阪、名古屋、静岡、静岡、埼玉、東京に支店、千葉県佐倉市にR&Dセンター、工場を配置。国内・外の受注から納品後まで安心なグローバルサポート体制。産学連携、共同研究にも積極的にチャレンジする社風。
マイクロセラミックヒーターは、高耐熱性、高絶縁性に優れたアルミナ基板に高温耐熱性の白金系抵抗体で形成し、アルミナシートで絶縁したヒーターです
◆特長◆ 従来のExLASERに比べコンパクト設計。 小面積(φ0.5インチ)・1ショット加熱を実現。 ワイドラック収納一体型。キャスター付きで移動が可能。 もちろん操作も簡単。 従来機同様に超高速な昇温降温を実現。 被加熱対象物のみへの直接加熱。雰囲気を加熱しません。
◆特長◆ 超高速な昇温降温が可能 2インチ基板を1ショットで均一加熱 被加熱対象物のみへの直接加熱が可能 プロセスに合った温度制御も可能 雰囲気を加熱せず省エネを実現 ◆用途例◆ MBE装置の基板加熱 ウェハーのアニール(SiC、GaAS、etc.) 多層構造デバイスの表層アニールが可能(微細化デバイス対応)
電熱線、シーズヒーター、フレキヒーター、ノズルヒーター、バンドヒーター、スペースヒーター、赤外線ヒーター、セラミックヒーター、ベルトヒーター、シリコンラバーヒーター、カートリッジヒーター、セラミックファイバーヒーター、電気コンロ、加熱ユニット、熱風器、恒温器、クリアーヒーター、SUPER RAPID(スーパーラピッド、ヒーティングモジュールシステムなど様々なヒーターからお選びください。詳しくは弊社ホームページをご覧ください。
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