★・・・主要設備
メーカー | 型式 | テーブルサイズ | 特徴 | 台数 | 導入年 | |
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ミツトヨ | ナノコード | x200 y200 z100 | 分解能1nmの非接触/接触形状測定器 | 1台 |
メーカー | 型式 | テーブルサイズ | 特徴 | 台数 | 導入年 | |
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パナソニック | UA-3P | 分解能10nmの非接触3次元形状測定器 | 1台 |
機械種別 | メーカー 型式 |
テーブルサイズ | トン数 | 特徴 | 台数 | 導入年 | |
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★ | 超2精密微細加工機 |
自社製 NIC-300a |
x350 | 同時6軸サブナノ制御の超2微細加工機 | 1台 | 2016年 | |
超精密成形平面研削盤 |
自社製
SGi-520α |
x500 y200 | かつてないイノベーションを生み出す超精密マシン | 1台 | 2018年 | ||
超精密成形平面研削盤 |
自社製 SGC-630Premium |
x600 y300 | 全軸油静圧軸受の超高精度加工用 | 1台 | |||
超精密成形平面研削盤 |
自社製 SGC-840α |
x800 y400 | 全軸油静圧軸受の超高精度加工用 | 1台 | |||
超精密ハイレシプロ成形研削盤 |
自社製 SHS-80α |
x80 y100 | 1000反転/分の超高速コンタリング成形研削盤 | 1台 | |||
超精密長尺ハイレシプロ成形研削盤 |
自社製 SHL-315 |
x300 y150 | 長尺対応高精度・高効率を両立した成形研削盤 | 1台 | |||
高精度ハイレシプロ総型成形研削盤 |
自社製 ZGP-15 |
x180 y130 | 高精度・高効率を両立した成形研削盤 | 1台 | |||
その他 |
Zygo(ザイゴ)
NewView600 |
x3 y3 | 分解能0.001nmの非接触面粗さ計 | 1台 | |||
その他 |
TROPEL |
x200 y200 | 分解能30nmの非接触平面度測定器 | 1台 | |||
その他 |
キーエンス
LT-9010M |
1台 |
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