★・・・主要設備
メーカー | 型式 | テーブルサイズ | 特徴 | 台数 | 導入年 | |
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★ | Oerlikon Balzers (自社) | INGENIA | HiPIMS/アーク 装置 | 1台 | ||
Oerlikon Balzers (自社) | INNOVENTA kila | HiPIMS/アーク 装置 | 1台 | |||
Oerlikon Balzers (自社) | INNOVENTA mega | アーク/スパッタ 装置 | 1台 | |||
Oerlikon Balzers (自社) | INNOVENTA giga | アーク/スパッタ 装置 | 1台 | |||
Oerlikon Balzers (自社) | RS90 | アーク/スパッタ/PACVD 装置 | 1台 |
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