自社の得意な技術や、他社にはまねできない特異な技術を紹介するコーナーです。
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セラミックを金属と気密性を持たせて接合するための、 メタライズ技術を有しております。 真空チャンバーやガス容器などへの電源導入、および計測・制御信号の取出し用に最適。 高い気密性を保ち、絶縁性に優れたハーメチックシール構造の電流導入端子(フィードスルー)です。 |
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セラミックスに螺旋穴を加工したタイプの絶縁パイプです。 螺旋形状にすることで、直線的な放電発生やプラズマの逆流を抑制することができます。 また製品の全長は同じでも絶縁距離をより長く確保することができるため、省スペース化を実現できます。 衛星のスラスターや半導体製造装置などで主にご使用頂いております。 |
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チタン製の電極(中心導体 )を採用した完全非磁性の電流導入端子になります。 ご使用環境・用途に応じて、セラミックや電極などのパーツを選択または製作し、お客さまの装置や設備にあったハーメチックシール構造の電流導入端子(フィードスルー)を提案します。 |
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