技術検索
自社の得意な技術や、他社にはまねできない特異な技術を紹介するコーナーです。
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超硬(荒加工から鏡面仕上げまで)
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《超硬加工-荒から鏡面仕上げまでを1台のマシンで》
超音波ロータリー加工 + SCHOTTダイヤモンド工具(電鋳:GVD)による特長
材質 :超硬(RSF20)
ワークサイズ:40×30×t10mm
加工部位 :板材から加工されている箇所
加工時間 :2時間45分(荒)、20分(鏡面部位)
使用工具 :φ3およびφ6(#170)...荒加工
R3-PCD...鏡面
工具摩耗量 :10µm(電鋳工具)
面粗さ :荒 Ra0.4μm
仕上 Ra40nm
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有限会社アリューズ (日本 東京都)
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SiC 精密 能率 加工
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◆SiCを超精密・超能率に加工するマシンとは?◆
SiCウエハの加工工程ではCMPの前加工状態、すなわち研削加工が極めて重要です。
ムーヴではナガセインテグレックス製の超精密定圧定量複合制御研削盤NSF-800を使用しています。
このマシンは常にワーク軸の負担を監視し、砥石が切れる状態を維持しながら切り込みを行うシステムを構築しています。
もう一方の軸ではコンディショニングを行い、刃先は常に最適な状態になるようにしています。
さらに高番手砥石もしっかり使いこなせます。
SiCの加工ならムーヴへお任せください。
▼SiC半導体の加工事例はこちら▼...
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株式会社 ムーヴ (日本 岐阜県)
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アルミナセラミックス ロータリー 研削
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ロータリー研削加工の事例をご紹介いたします。
Φ250mmのアルミナセラミックスをロータリー研削加工したワークです。
加工機はナガセインテグレックス製のロータリーマルチ研削盤RG-500を使用しました。
平面度は0.5μm/Φ250mm、平行度は0.7μm/Φ150mm。
ムーヴはアルミナセラミックスの加工を得意としております。
超精密なロータリー研削盤にてサブミクロンの平面精度で加工を行うことが可能です。
アルミナセラミックスのロータリー平面研削加工ならムーヴにお任せください!
▼各種加工事例はこちら▼
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株式会社 ムーヴ (日本 岐阜県)
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