半導体
測定機械
医療機器
近年、電子ビーム装置の高性能化は著しく、その反面磁界許容値は厳しくなる一方です。アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)は、外乱の変動磁界を3軸磁界コントローラーで高感度に検出し、それを打ち消す磁界をXYZの3軸で構成されるヘルムホルツコイルにて発生させ、コイル内部の磁界変動を制御し、安定させるために用いる磁界発生器です。導入することによって、磁界環境が著しく不安定な場所でも電子ビーム装置の性能を十分に発揮することが可能です。
コイル設置方法は、建物埋め込み型、チャンバー内設置型、後施工(現場設置)の3通りがあります。打消しコイルを装置のフレームに実装することも可能です。半導体計測・検査装置などの設置エリアを大きくとる必要がありません。
<主な用途>
・電子顕微鏡(SEM/TEM)
・電子ビーム描画装置
・マスク検査装置
・質量分析装置
・生体磁気計測装置
会社名 |
株式会社オータマ (おーたま) |
エミダス会員番号 | 84533 |
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国 | 日本 | 住所 |
日本 東京都 八王子市 |
電話番号 | 042-377-4311 | FAX番号 | ログインをすると表示されます |
資本金 | 2,000 万円 | 年間売上高 | 400,000 万円 |
社員数 | 100人 | 担当者 | 尾上泰三 |
産業分類 | 測定機械 / 電子部品 / 医療機器 | ||
主要取引先 |
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